Thermoelektrischer Transport und Struktureigenschaften von dünnen Sb2Te3-Schichten bei der Prozessvariation in der Atomlagenabscheidung.

Thermoelektrischer Transport und Struktureigenschaften von dünnen Sb2Te3-Schichten bei der Prozessvariation in der Atomlagenabscheidung -- Inhaltsverzeichnis -- 1 Einleitung -- 2 Theoretische Grundlagen -- 2.1 Thermoelektrik -- 2.2 Messtechnik -- 2.3 Röntgendiffraktometrie -- 2.4 Atomlagenabscheidung (ALD) -- 3 Synthese und Probenpräparation -- 3.1 Abscheidung von nanoskaligen Sb2Te3-Schichten mittels ALD -- 3.1.1 ALD Reaktor -- 3.1.2 ALD Prozess der Probenherstellung -- 3.2 Herstellung der Messplattform f¨ur die Charakterisierung der thermoelektrischen Transporteigenschaften -- 4 Strukturelle und morphologische Eigenschaften -- 4.1 Variation der ALD Prozessparameter -- 4.2 Morphologie -- 4.3 Strukturanalyse -- 5 Thermoelektrische Transporteigenschaften -- 5.1 Messverfahren -- 5.1.1 Elektrische Leitfähigkeitsmessung und Hall-Messung -- 5.1.2 Seebeck-Messung -- 5.2 Messergebnisse -- 5.2.1 Temperaturabhängigkeiten -- 5.2.2 Einfluss der ALD Prozesszeiten -- 6 Zusammenfassung und Ausblick -- Literaturverzeichnis -- Abbildungsverzeichnis -- Tabellenverzeichnis -- Anhang.

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